XP-703DⅢ
半导体材料气体检测
检测对象
H2丨AsH3丨B2H6丨SiH4丨PH3
检测浓度
1.0μmol/mol丨0.5μmol/mol丨0.2μmol/mol丨0.5μmol/mol丨0.3μmol/mol
检测原理
热线型半导体式
采样方式
自动吸引式
应用行业
半导体制造
产品详情
Product details
产品描述：半导体材料气体检测
可检测微量的半导体材料气体泄漏，可对半导体工厂等使用毒性气体的场所进行泄漏检测，
也可对氢气相关设备提供安全保障。
01.产品特点
· 小型·轻量
· 可以检查非常微量的气体泄漏
· 适合氢气相关设备的安全防护
· 搭载的泵有自动停止功能
· 搭载[自动气体排气模式]功能
· 保护等级约为IP22（JIS C 0920）※安装皮套时
02.产品用途
· 半导体工厂/石油化学工厂等
· 在使用半导体材料气体/毒性气体的现场进行泄漏检测
03.产品参数
| 型号 | XP-703DⅢ | ||||
| 检测对象气体 | 半导体材料气体(砷烷、磷化氢、乙硼烷、硅烷、氢气) | ||||
| 检测原理 | 热线型半导体式 | ||||
| 采样方式 | 自动吸引式 | ||||
| 砷烷 | 磷化氢 | 乙硼烷 | 硅烷 | 氢气 | |
| AsH₃ | PH₃ | B₂H₆ | SiH₄ | H₂ | |
| 可检测泄漏量 [Pa·m³/s] | 2.53x10⁻⁷ | 1.52x10⁻⁷ | 1.01x10⁻⁷ | 2.53x10⁻⁷ | 5.07x10⁻⁷ |
| 可检测浓度 [μmol/mol] | 0.5 | 0.3 | 0.2 | 0.5 | 0.1 |
| 反应时间 | 10秒以内(探测的气体为可检测浓度的3倍时，灵敏度设定为[4]) | ||||
| 报警方式 | 发出断断续续的声音及报警灯闪烁 | ||||
| 电源 | 5号碱性干电池(LR6)2节 | ||||
| 连续使用时间※1 | 约12小时(5号碱性干电池)[在常温·常湿条件下] | ||||
| 保护等级※2 | IP22 相当※3 | ||||
| 使用压力范围 | 大气压(800~1100hpa) | ||||
| 使用温湿度范围 | 0C~40℃、85%RH以下(无结露现象) | ||||
| 外形尺寸 | W38xH130xD32mm(突出部分除外) | ||||
| 重量 | 约190g(包含电池、皮套) | ||||
| 标配附件 | 皮套、引导管过滤片、替换用过滤芯、导气管、点检气体、手提挂绳、5号碱性干电池2节等 | ||||
※1. 根据不同环境条件、使用条件、保存期限、电池厂家，有时会有不同。
※2. 安装皮套时。
※3. IP22相当是指机器内部危险场所附近所对应的保护构造(IP2X)、与垂直方向呈15°范围内掉落的水滴不会引起机器内部异常的防浸水构造(IPX2)。